蒸汽也能使硅橡胶制品/硅胶产品的性能降低，其本质是主链的断裂反应。
水解断裂反应会因温度的升高和离子性试剂的存在而变得明显。耐填充剂的纯度和催化剂残渣量对其影响也很大。为了提高硅橡胶制品/硅胶产品的耐蒸汽性，可采用在硅胶原料配方中提高交联密度和使填充剂疏水化等方法，但应尽量避免在2MPa以上的高压水蒸气下使用硅橡胶制品/硅胶产品。

其这种特性，硅氧烷-乙丙橡胶共混物的共硫化胶为最佳。

通常,在不加压的情况下硅橡胶几乎不受游离蒸汽湿气的影响。当蒸汽处于比较低或中等压力情况下也是如此。然而随着蒸汽压力的上升,对橡胶的机械性能的影响就逐渐变大。因此硅橡胶不推荐长期使用在蒸汽超过50psi的场合中。